产品概述

AENI射频匹配器将等离子体腔体工作时的阻抗（容性或感性）自动转换成能够射频功率源输出最大功率的状态。

产品特点

• 快速，精准的匹配算法
  自动调节匹配，可靠性高
  先进的射频功率测量系统
  全数字化控制技术
  支持脉冲工作模式
  能广泛地使用与各种容性或感性的阻抗

应用领域

• ETCH刻蚀工艺
  IMP离子注入
  CVD化学相沉积
  ASHER等离子去胶机
  PVD物理气相沉积